高纯氮气

分子式： N2

性质：纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相对分子质量 28.013

熔点 63.15K,-210℃,-346oF

沸点，195.6

临界温度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF

临界压力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

临界体积 90.1cm3/mol

临界密度 0.3109g/cm3

临界压缩系数 0.292

偏心因子 0.040

液体刻密度 ,-180℃时 0.729g/cm3

液体热膨胀系数 ,-180℃时 0.00753 1/℃

表面张力 ,-210℃时 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm

气体密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)时 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3

气体相对密度,101.325 kPa(1atm)和70oF时(空气=1) 0.967

汽化热 , 沸点下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b

熔化热 , 熔点下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b

气体定压比热容 cp ,25 ℃时 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)

气体定容比热容 cp ,25 ℃时 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)

气体比热容比 , cp/cv 1.401

液体比热容 ,-183℃时 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )

因体比热容 ,-223℃时 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )

气体摩尔熵 ,25℃时 191.5 J/(mol·k )

气体摩尔生成熵 ,25℃时 0 J/(mol·k )

气体摩尔生成焓 ,25℃时 0 KJ/mol

气体摩尔吉布斯生成能 ,25℃时 0 KJ/mol

溶解度参数 9.082 (J/cm3 )0.5

液体摩尔体积 34.677 cm3 /mol

在水中的溶解度 ,25℃时 17.28×10 -6(w)

气体黏度 ,25℃时 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP

液体黏度 ,-150℃时 0.038mPa ·s,0.038 cp

气体热导率 ,25℃ 时 0.02475 W/(m · K)

液体热导率 ,-150℃时 0.0646W/(m · K）

用途：在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。