准分子激光气体

序号迪嘉特气准分子激光气汇总1Mix（混合气）25-16L-2000psiF2 0.23% + Ar 10.38% + He 64.39% + Ne 25%2Mix（混合气）62-16L-2000psiF2 0.28% + Ar 8.30% + He 29.22% + Ne 62.2%3Mix（混合气）10L-2000psiNe 98% + Xe + HCl(低于 0.1%)4Mix（混合气）16L-2000psiArF 193nm + KrF 248nm + XeCl 308nm + XeF450nm~520nm

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序号	迪嘉特气准分子激光气汇总
1	Mix（混合气）25-16L-2000psi F2 0.23% + Ar 10.38% + He 64.39% + Ne 25%
2	Mix（混合气）62-16L-2000psi F2 0.28% + Ar 8.30% + He 29.22% + Ne 62.2%
3	Mix（混合气）10L-2000psi Ne 98% + Xe + HCl(低于 0.1%)
4	Mix（混合气）16L-2000psi ArF 193nm + KrF 248nm + XeCl 308nm + XeF450nm~520nm